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PVD真空镀膜简介

2019-05-30

一、PVD的寄义 

PVD是英文Physical Vapor Deposition的缩写,中文意义是“物理气相堆积”,是指在真空条件下,用物理的要领使质料堆积在被镀工件上的薄膜制备手艺。


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二、PVD镀膜和PVD镀膜机 

PVD(物理气相堆积)镀膜手艺重要分为三类,真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜。对应于PVD手艺的三个分类,响应的真空镀膜装备也就有真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机这三种。远十多年来,真空离子镀膜技术的生长是最快的,它曾经成为现今最先辈的外面处置惩罚体式格局之一。我们一般所说的PVD镀膜 ,指的就是真空离子镀膜;一般所说的PVD镀膜机,指的也就是真空离子镀膜机。


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三、PVD镀膜手艺的道理 

PVD镀膜(离子镀膜)手艺,其详细道理是在真空条件下,接纳低电压、大电流的电弧放电手艺,应用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物资取气体皆发作电离,应用电场的减速感化,使被蒸发物资及其回响反映产品堆积在工件上。     


四、PVD镀膜膜层的特性

接纳PVD镀膜手艺镀出的膜层,具有下硬度、下耐磨性(低摩擦系数)、很好的耐腐蚀性和化学稳定性等特性,膜层的寿命更长;同时膜层可以或许大幅度进步工件的表面装潢机能。


五、PVD镀膜可以或许镀出的膜层品种 

PVD镀膜手艺是一种可以或许真正得到微米级镀层且无污染的环保型外面处置惩罚要领,它可以或许制备种种单一金属膜(如铝、钛、锆、铬等),氮化物膜(TiN、ZrN、CrN、TiAlN)和碳化物膜(TiC、TiCN),和氧化物膜(如TiO等)。


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